氮化铝陶瓷加工

烧结是氮化铝多层基板产品非常重要的工艺，在这个过程中产品由生瓷通过高温收缩成熟瓷，对于尺寸精度而言这个阶段会影响产品的平整性及绝对尺寸，烧结曲线与烧结参数的稳定性是关键因素［９］。 在成瓷阶段，由于多层产品本身的结构复杂存在多重的不对称性，在收缩的过程中各个方向所受应力不尽相同；同时，金属化与陶瓷的收缩温度段及收缩率也不相同，产品内部金属化也分布各异，造成各个区域应力分布不同。