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氮化硅是在 19 世纪中叶被发现的,但由于其共价键合性质,因此并不易于制造。这最初导致了两种类型的氮化硅的发展,即反应键合氮化硅 (RBSN) 和热压氮化硅 (HPSN)。随后,自 1970 年代以来又开发了两种类型:烧结氮化硅 (SSN),包括赛隆,以及烧结反应键合氮化硅 (SRBSN)。
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